《科创板日报》10月15日消息，近日，中山市博顿光电科技有限公司完成数千万元Pre-B轮融资，投资方为中芯聚源股权投资管理（上海）有限公司。本轮资金将主要用于扩大已批量生产产品的产能、新产品研发、工艺应用开发与示范。
公开资料显示，中山市博顿光电科技有限公司是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业，2019年认定为国家高新技术企业，2021年获批承担“广东省离子束装备工程技术研究中心”的建设工作。核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备专业技术研发与设计能力，在国内离子束技术与装备产品领域处于第一梯队，已开拓和积累了上百家行业典型客户。
博顿光电致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，打破国外垄断，从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题。公司主营业务与产品为:各类高端离子源设备产品:RF 射频离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF专用离子源、其他特种离子源;离子束微纳加工解决方案提供:离子束薄膜沉积、刻蚀及表面处理;③纳米薄膜器件、光棚器件等纳米光电元器件的工艺方案开发与服务。
智慧芽数据显示，中山市博顿光电科技有限公司及其关联公司累计申请专利120件，其中发明专利近60件，占比超过47%。通过进一步分析其专利技术数据可知，该公司专利技术主要布局于离子源、真空镀膜机、电离腔、射频线圈等领域。